高真空閥
鋁制高真空L型閥 XLA/C/F/G
| 系列 | 操作方式 | 閥形式 | 軸密封 方式 | 用途 | 法蘭 尺寸 |
|---|---|---|---|---|---|
| XLA-2 | 氣控式 | 單作用 （N.C.） | 波紋管密封 | 無塵 清潔化 | 16～80 |
| XLAV-2（帶電磁閥） | 氣控式 | 單作用 （N.C.） | 波紋管密封 | 無塵 清潔化 | 16～80 |
| XLC-2 | 氣控式 | 雙作用 | 波紋管密封 | 無塵 清潔化 | 16～80 |
| XLF-2 | 氣控式 | 單作用 （N.C.） | O形圈密封 | 高速動作 高動作次數(shù) | 16～80 |
| XLFV-2（帶電磁閥） | 氣控式 | 單作用 （N.C.） | O形圈密封 | 高速動作 高動作次數(shù) | 16～80 |
| XLG-2 | 氣控式 | 雙作用 | O形圈密封 | 高速動作 高動作次數(shù) | 16～80 |
鋁材質高真空L型閥 XLA/C-100?160（-1）-X152
-
?波紋管耐久性提升（法蘭尺寸100、160）
?壽命：200萬次
?可實現(xiàn)裝置的省空間化
無排氣方向限制(閥體側←→波紋管側 兩方向均可)
安裝姿勢的自由度提升
?輕量、緊湊
| 系列 | 操作方式 | 閥形式 | 軸密封方式 | 用途 | 法蘭尺寸 |
|---|---|---|---|---|---|
| LA-100?160-X152 | 氣控式 | 單作用 （N.C.） | 波紋管密封 | 無塵 清潔化 | 100，160 |
| XLC-100?160-1-X152 | 氣控式 | 雙作用 | 波紋管密封 | 無塵 清潔化 | 100，160 |
鋁制高真空L型閥 XL□
| 系列 | 操作方式 | 閥形式 | 軸密封 方式 | 用途 | 法蘭 尺寸 |
|---|---|---|---|---|---|
| XLA | 氣控式 | 單作用 （N.C.） | 波紋管密封 | 無塵 清潔化 | 16～160 |
| XLAV（帶電磁閥） | 氣控式 | 單作用 （N.C.） | 波紋管密封 | 無塵 清潔化 | 16～160 |
| XLC | 氣控式 | 雙作用 | 波紋管密封 | 無塵 清潔化 | 16～160 |
| XLCV（帶電磁閥） | 氣控式 | 雙作用 | 波紋管密封 | 無塵 清潔化 | 16～80 |
| XLF | 氣控式 | 單作用 （N.C.） | O形圈密封 | 高速動作 高動作次數(shù) | 16～160 |
| XLFV（帶電磁閥） | 氣控式 | 單作用 （N.C.） | O形圈 | 高速動作 高動作次數(shù) | 16～160 |
| XLG | 氣控式 | 雙作用 | O形圈 | 高速動作 高動作次數(shù) | 16～160 |
| XLGV（帶電磁閥） | 氣控式 | 雙作用 | O形圈 | 高速動作 高動作次數(shù) | 16～80 |
| XLD | 氣控式 | 單作用 （N.C.） | 波紋管密封 O形圈密封 | 防止揚塵 防止泵過載 | 25～160 |
| XLDV（帶電磁閥） | 氣控式 | 單作用 （N.C.） | 波紋管密封 O形圈密封 | 防止揚塵 防止泵過載 | 25～160 |
| XLH | 手動式 | 手動 | 波紋管密封 | 無塵 清潔化 | 16～50 |
| XLS | 電磁式 | 單作用 （N.C.） | (波紋管平衡) | 無需空氣 可搬運裝置用 | 16，25 |
鋁制快速裝卸型 高真空L型閥 XLAQ?XLDQ
| 系列 | 操作方式 | 軸密封 方式 | 閥形式 | 材質 | 法蘭 尺寸 |
|---|---|---|---|---|---|
| XLAQ | 氣控式 | 波紋管密封 | 單作用 （N.C.） | 主體：鋁 波紋管：SUS316L | 16～50 |
| XLDQ | 氣控式 | 波紋管密封 O形圈密封 | 單作用 （N.C.） | 主體：鋁 波紋管：SUS316L | 40，50 |
不銹鋼制高真空L型／直通型閥 XM/XY
| 系列 | 操作方式 | 軸密封 方式 | 閥形式 | 材質 | 法蘭 尺寸 |
|---|---|---|---|---|---|
| XMA/XYA | 氣控式 | 波紋管密封 | 單作用 （N.C.） | 主體：SCS13（相當于SUS304） 波紋管：SUS316L | 16～80 注） |
| XMC/XYC | 氣控式 | 波紋管密封 | 雙作用 | 主體：SCS13（相當于SUS304） 波紋管：SUS316L | 16～80 注） |
| XMD/XYD | 氣控式 | 波紋管密封 O形圈密封 | 單作用 （N.C.） | 主體：SCS13（相當于SUS304） 波紋管：SUS316L | 25～80 |
| XMH/XYH | 氣控式 | 波紋管密封 | 手動 | 主體：SCS13（相當于SUS304） 波紋管：SUS316L | 16～50 注） |
常閉型高真空電磁閥 XSA
-
?最低使用壓力：1×10-6Pa(abs)
?泄漏量：內(nèi)部1.3×10-9Pa?m3/s、外部1.3×10-11Pa?m3/s
?備有2種接頭、內(nèi)螺紋
?消耗功率：最大減少25%
?重量：最大減輕18% 0.5kg→0.41kg
| 系列 | 閥形式 | 使用流體 | 配管連接方式 | 配管尺寸 |
|---|---|---|---|---|
| XSA | 常閉 | 空氣 惰性氣體 | 面密封接頭 卡套式接頭 | 1/4, 3/8 |
| XSA | 常閉 | 空氣 惰性氣體 | Rc, NPT內(nèi)螺紋 | 1/8, 1/4, 3/8 |
平穩(wěn)通氣閥 XVD
| 系列 | 閥形式 | 使用流體 | 配管連接方式 | 配管尺寸 |
|---|---|---|---|---|
| XVD | 常閉 （加壓打開?彈簧密封） | 氮氣、空氣、 惰性氣體等 | VCR? Swagelok? | 1/4B |
