小型圧力センサですので、パット近くにセンサを取付けることが可能です。オートプリセット機(jī)能で、設(shè)定も簡(jiǎn)単です。

ワークに水や油が付著し、圧力センサ部に浸入する場(chǎng)合も、ステンレスダイヤフラムを使用しているので、検出可能です。

エアラインの元圧設(shè)定は、デジタル表示を見ながら行います。さらに、運(yùn)転時(shí)の目視確認(rèn)、元圧低下などの異常にも対応可能です。

メインチャンバの真空予備室である、ロードロックチャンバ大気圧復(fù)帰の検知ができます。

低圧用のセンサ（PSE532-□）を用いれば圧力の微小変動(dòng)の検知も可能です。オートシフト機(jī)能により、元圧変動(dòng)の影響を低減できます。