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クリーン
|クリーンルーム用機(jī)器
|クリーンブロー用機(jī)器
|ノングリース機(jī)器
2色表示式デジタルフロースイッチ PFM
スイッチ／センサ／コントローラ ? 電子式フロースイッチ／センサノングリース 窒素（N2）対応機(jī)器 ? フロースイッチ
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?乾燥空気、N2、Ar、CO2
?ノングリース仕様。
?流量調(diào)整弁一體化。
?小型、軽量、省スペース。
| シリーズ | 定格流量範(fàn)囲（L/min） |
|---|---|
| PFM | 0.2～10（0.2～5） 0.5～25（0.5～12.5） 1～50（1～25） 2～100（2～50） （?。─螩O2の場合 |
