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業(yè)種?工程別
結(jié)晶Si系製造工程
薄膜Si系製造工程
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クリーンブロー用機(jī)器
ノングリース機(jī)器
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ノングリース機(jī)器
メンブレンエアドライヤ 10-IDG□A
クリーン/低発塵
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エアドライヤ
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グリーン対応(RoHS)
シリーズ
出口空気流量L/min(ANR)
出口空気大気圧露點(diǎn)(℃)
10-IDG30A~100A
300~1000
-20
10-IDG30HA~100HA
300~1000
-15
10-IDG30LA~100LA
75~300
-40
10-IDG60SA~100SA
50~150
-60
10-IDG3~100
25~1000
-20
10-IDG3H~100H
25~1000
-15
10-IDG30L~100L
75~300
-40
10-IDG60S~100S
50~150
-60
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