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產(chǎn)品目錄

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工藝氣體元件

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減壓閥（壓力調(diào)節(jié)器）高純度工藝氣體用 AP/SL/AZ 一般氣體用/AK 背壓閥/BP

    ?適合半導(dǎo)體等需要供給高潔凈度氣體的行業(yè)。
    ?主體材質(zhì)為SUS316L二次熔煉或SUS316L。
    ?接觸氣體部分經(jīng)過電解研磨處理。
    ?外部金屬密封構(gòu)造。
系列形式用途主體材質(zhì)
AP高純度工藝氣體用一段式減壓閥SUS316L
二次熔煉
AP高純度工藝氣體用二段式減壓閥SUS316L
二次熔煉
AP高純度工藝氣體用氣控型減壓閥SUS316L
二次熔煉
SL高純度工藝氣體用一段式減壓閥SUS316L
二次熔煉
AZ高純度工藝氣體用一段式減壓閥SUS316L
AZ高純度工藝氣體用氣控型減壓閥SUS316L
AK一般氣體用一段式減壓閥SUS316
AK一般氣體用二段式減壓閥SUS316
AK一般氣體用氣控型減壓閥SUS316
BP高純度用背壓閥SUS316
BP一般氣體用背壓閥SUS316

隔膜閥　高純度工藝氣體用 AP

    ?用于半導(dǎo)體等需要高潔凈度氣體的行業(yè)。
    ?可作為氣體的切斷閥使用。
    ?接觸氣體部分無彈簧，驅(qū)動(dòng)部也使用膜片隔離，因此減小了氣路的死區(qū)，抑制了粒子的產(chǎn)生。
系列名稱形式主體材質(zhì)
AP高純度工藝氣體用氣控型隔膜閥SUS316L
二次熔煉
AP高純度工藝氣體用手控型隔膜閥SUS316L
二次熔煉
AP高純度工藝氣體用計(jì)量閥SUS316L
二次熔煉
AZ高純度工藝氣體用氣控型隔膜閥SUS316L
AZ高純度工藝氣體用手控型隔膜閥SUS316L
AZ高純度工藝氣體用計(jì)量閥SUS316L
AK一般氣體用氣控型隔膜閥SUS316
AK一般氣體用手控型隔膜閥SUS316
AK一般氣體用計(jì)量閥SUS316

單向閥／真空發(fā)生器／流量開關(guān) AP/AZ 一般氣體用/AK

    ［單向閥］
    ?背壓可防止流體的逆流。
    ?結(jié)構(gòu)簡單，內(nèi)部的可動(dòng)零部件僅限O形圈。
    ?采用無彈簧的結(jié)構(gòu)，可減少因震顫等產(chǎn)生的顆粒，并降低下游側(cè)的壓力變動(dòng)。
    ［真空發(fā)生器］
    ?真空發(fā)生器
    ?更換鋼瓶時(shí)，用于排出配管中殘余的氣體。
    ［流量開關(guān)］
    ?檢測配管破裂等造成的過剩流量。
系列名稱主體材質(zhì)
AP單向閥SUS316L 二次熔煉
AP真空發(fā)生器SUS316L 二次熔煉
AP流量開關(guān)SUS316L 二次熔煉

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