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-
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テーマ?業(yè)種別カタログ
圧縮空気清浄化フィルタ
インラインエアフィルタ ZFC5□/7□-X05
-
2D CAD
2D CADデータはこちら
| シリーズ | 適用チューブ外徑 ミリ | 適用チューブ外徑 インチ | 流量 L/min（ANR）注） 正圧 | 流量 L/min（ANR）注） 真空?qǐng)R | ろ過度(μm) |
|---|---|---|---|---|---|
| ZFC5□-X05 | φ4, φ6 | φ5/32'', φ1/4'' | 100/200 | 10/20 | 5 |
| ZFC7□-X05 | φ6, φ8 , φ10, φ12 | φ1/4'', φ5/16'', φ3/8'' | 250/450/550/650 | 30/70/80/100 | 5 |
クリーンガスフィルタ SF
-
?エレメント交換が可能なカートリッジタイプ。
(SFA100?200?300，SFB100)
?半導(dǎo)體プロセス用にコンパクトなディスポーザブルタイプ。
(SFB300，SFC100)
-
2D/3D CAD
型式検索により2D/3D CADデータを様々なデータ形式で出力できます。
オプション、マニホールド等搭載した狀態(tài)で出力できます。
2D/3D CADデータはこちら※2D/3D CADデータはキャデナス?ウェブ?ツー?キャド株式會(huì)社のシステムに移動(dòng)します。
CADデータダウンロード時(shí)にはキャデナス?ウェブ?ツー?キャドの PART community のユーザー登録が必要になります。2D CAD
2D CADデータはこちら クリーンガスフィルタ SF
取扱説明書
タイプ シリーズ 検索結(jié)果を表示 カートリッジタイプ
ディスク形SFA100?200?300 検索結(jié)果を表示 カートリッジタイプ
ストレート形SFB100 検索結(jié)果を表示 カートリッジタイプ
ストレート形SFB200 検索結(jié)果を表示 ディスポーザブルタイプ
ストレート形SFB300 検索結(jié)果を表示 ディスポーザブルタイプ
多段ディスク形SFC100 検索結(jié)果を表示
| タイプ | シリーズ | 使用圧力 | ろ過度 |
|---|---|---|---|
| カートリッジタイプ ディスク形 | SFA100?200?300 | Max.0.99MPa （真空：1.3×10-6kPa） | 0.01μm （捕集効率99.99％） |
| カートリッジタイプ ストレート形 | SFB100 | Max.0.99MPa （真空：1.3×10-6kPa） | 0.01μm （捕集効率99.99％） |
| カートリッジタイプ ストレート形 | SFB200 | Max.0.99MPa （真空：1.3×10-6kPa） | 120μm |
| ディスポーザブルタイプ ストレート形 | SFB300 | Max.0.99MPa （真空：1.3×10-6kPa） | 0.01μm （捕集効率99.99％） |
| ディスポーザブルタイプ 多段ディスク形 | SFC100 | Max.0.99MPa （真空：1.3×10-6kPa） | 0.01μm （捕集効率99.99％） |
クリーンエアフィルタ 中空糸エレメント SFD
-
?中空糸エレメント內(nèi)蔵。
?圧力降下：0.03MPa（1次圧0.7MPa、最大流量時(shí)）
?環(huán)境負(fù)荷化學(xué)物質(zhì)削減RoHS対応。
?金屬ケースタイプ(オーダーメイド)
ステンレスケース、アルミケース
-
2D/3D CAD
型式検索により2D/3D CADデータを様々なデータ形式で出力できます。
オプション、マニホールド等搭載した狀態(tài)で出力できます。
2D/3D CADデータはこちら※2D/3D CADデータはキャデナス?ウェブ?ツー?キャド株式會(huì)社のシステムに移動(dòng)します。
CADデータダウンロード時(shí)にはキャデナス?ウェブ?ツー?キャドの PART community のユーザー登録が必要になります。2D CAD
2D CADデータはこちら クリーンエアフィルタ 中空糸エレメント SFD
取扱説明書
シリーズ 種類 検索結(jié)果を表示 SFD100 ディスポーザブル
（エレメント交換不可）検索結(jié)果を表示 SFD110 ディスポーザブル
（エレメント交換不可）検索結(jié)果を表示 SFD200 カートリッジ型
（エレメント交換可）検索結(jié)果を表示
安全上のご注意 特長(zhǎng)/基本仕様/クリーン共通注意事項(xiàng)
圧縮空気清浄化機(jī)器/共通注意事項(xiàng) 機(jī)種選定?技術(shù)資料 特定開発品情報(bào)
グリーン対応（RoHS）
圧縮空気清浄化機(jī)器/共通注意事項(xiàng) 機(jī)種選定?技術(shù)資料 特定開発品情報(bào)
グリーン対応（RoHS）
| シリーズ | 種類 | 処理流量(ANR) （一次圧0.7MPa時(shí)） | 使用圧力 | ろ過度 |
|---|---|---|---|---|
| SFD100 | ディスポーザブル （エレメント交換不可） | ～100L/min | MAX.1.0MPa | 0.01μm （捕集効率：99.99%） |
| SFD110 | ディスポーザブル （エレメント交換不可） | ～120L/min | MAX.1.0MPa | 0.01μm （捕集効率：99.99%） |
| SFD200 | カートリッジ型 （エレメント交換可） | ～500L/min | MAX.1.0MPa | 0.01μm （捕集効率：99.99%） |
クリーンエアモジュール LLB
-
?クリーン機(jī)器をモジュール化（配管工數(shù)削減／省スペース）。
手軽にクリーンエアが得られます。
?ろ過度：0.01μm（捕集効率99.99％）。
?流體接觸部：ノングリース、シリコーンフリー。
?クリーンルーム組付け2重梱包出荷。
?24種類の組合せが可能。
注）入口空気條件 ISO 8573-1 品質(zhì)等級(jí) 1.4.1～1.6.1相當(dāng)
-
2D/3D CAD
型式検索により2D/3D CADデータを様々なデータ形式で出力できます。
オプション、マニホールド等搭載した狀態(tài)で出力できます。
2D/3D CADデータはこちら※2D/3D CADデータはキャデナス?ウェブ?ツー?キャド株式會(huì)社のシステムに移動(dòng)します。
CADデータダウンロード時(shí)にはキャデナス?ウェブ?ツー?キャドの PART community のユーザー登録が必要になります。2D CAD
2D CADデータはこちら クリーンエアモジュール LLB
取扱説明書
シリーズ 検索結(jié)果を表示 LLB3 検索結(jié)果を表示 LLB4 検索結(jié)果を表示 クリーンエアモジュール LLB
自己宣言書
シリーズ 検索結(jié)果を表示 LLB3 検索結(jié)果を表示 LLB4 検索結(jié)果を表示
| シリーズ | 使用流體 | 設(shè)定圧力 | 流量範(fàn)囲 L/min（ANR） |
|---|---|---|---|
| LLB3 | クリーンエア N2ガス 注） | 0.05～0.4MPa | 5～100 |
| LLB4 | クリーンエア N2ガス 注） | 0.05～0.4MPa | 50～500 |
クリーンエアモジュール LLB1-X100
| シリーズ | 使用流體 | 流量範(fàn)囲 L/min（ANR） |
|---|---|---|
| LLB1-525 | クリーンエア N2ガス | 0.5?25 |
| LLB1-550 | クリーンエア N2ガス | 1?50 |
| LLB1-511 | クリーンエア N2ガス | 2?100 |
